12 月 29 日消息，据国外媒体报道，ASML正在研发更先进、效率更高的高数值孔径极紫外光刻机： NXE:5000 系列，设计已经基本完成，预计在 2022 年开始商用。作为一款高数值孔径的极紫外光刻机，新系列的数值孔径将提高到 0.55，而ASML目前已推出的 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3400C 这两款极紫外光刻机，数值孔径为 0.33。

ASML是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商，此前在财报中披露了极紫外光刻机 TWINSCAN NXE:3600D，计划在2021年年中开始出货，生产效率较目前的产品提升 18%。