芯东西（公众号：aichip001）
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芯东西1月14日报道，刚刚，无锡星微科技有限公司（简称“XIVI”）宣布，半年内连续完成B轮及B+轮累计超亿元融资。

其B轮投资方包括上汽集团旗下尚颀资本和老股东毅达资本；B+轮投资方包括两支江苏省战略新兴产业母基金：无锡集成电路产业专项母基金、南通新一代信息技术产业专项母基金，以及江苏有线旗下睿辉资本。

这也是无锡、南通两支战新母基金的首个直投项目。

星微科技XIVI成立于2015年，有高精度运动平台、晶圆传输设备两大主营产品，是业内少数能够同时提供半导体精密运动控制与晶圆自动化传输设备关键零部件的公司之一，也是极少数能够实现底层核心零部件自研的厂商。

无锡科创集团投资团队评价星微科技XIVI是“半导体运动控制领域的新星”，“满足国内设备国产化的零部件需求”。南通科创集团投资团队也强调星微科技的高精度运动平台与晶圆传输系统“自主化程度属行业头部”。

其累计投资方包括耀途资本、毅达资本、中汇金、北洋海棠基金、建发新兴投资等知名机构。此前该公司曾在2023年7月获得近亿元A轮融资。

▲晶圆传输系统

星微科技XIVI致力于成为“晶圆超精密定位、传输、存储一体化解决方案制造商”，掌握了多学科交叉的微米与纳米级精密运动控制技术、精密制造与生产管理能力，通过提供模块化和定制化的产品及服务，能够灵活适应不同客户场景的个性化需求，同时确保高效和稳定的系统性能。

该公司2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发，2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂，2020年起其精密运动台及传输系统在半导体量检测类、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。

当前星微已形成半导体设备关键零部件产品矩阵：高精度运动台、晶圆传输设备、晶圆真空机械手等。其高自主化的运动台和晶圆传输系统（EFEM、SORTER、晶圆机械手等）已批量供应国内头部的量检测设备与工艺设备厂商，并获得客户认可。

2024年11月，星微XIVI发布真空机械手新品。作为晶圆的真空传输系统中的基板搬运机器人，XIVI真空机械手的全连杆手臂机构采用全闭环控制方式，可实现更高的定位精度、更快的响应时间、更高的工作效率。首台晶圆真空机械手即将交付至国内头部客户。

▲晶圆真空搬运机械手

官网显示，星微科技XIVI拥有逾110项相关专利，自研运动平台出货总量2000+、自研晶圆设备出货总量300+。

尚颀资本投资团队认为，随着半导体行业国产替代对高精度运动控制系统需求激增，半导体设备子系统与零部件的国产化率进入加速提升阶段，星微科技作为该领域头部公司具备极强的发展潜力。

在毅达资本先进制造投资事业部徐杰博士看来，星微科技拥有底层设计和制造能力，其生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、工程设计等多个领域，能够与头部半导体设备客户形成高效合作研发和快速迭代。

当前，半导体设备零部件国产替代步伐加快，驱动上游的关键零部件替代加速。星微自研的真空传输系列产品，是半导体制造中极其重要的核心子系统零部件之一，为半导体行业提供了可替代化的自主精密运动控制解决方案。

星微科技XIVI计划继续加大在技术研发上的投入，推动半导体精密运动控制产品的创新升级，为半导体市场提供更多创新工业产品。